发明名称 |
高性能钽靶材的热锻工艺 |
摘要 |
本发明涉及一种高性能钽靶材的热锻工艺,其工艺步骤为:首先将钽锭采用冷锻法进行一次锻造,随后酸洗、热处理后采用热锻法进行二次锻造,再次酸洗和热处理后采用热锻法进行三次锻造。本发明对应用于高性能钽靶材的大直径(直径大于等于160mm)钽锭通过冷锻结合热锻工艺进行锻造,并配以合适的热处理工艺,得到产品需要的晶粒尺寸和织构组分。利用本发明所生产的轧制坯料可获得靶材厚度方向(100)织构比例在50%以上,并且均匀一致,满足高端溅射基台使用要求的高性能钽靶材,与普通钽靶材相比较,高性能钽靶材不但实现了靶材厚度方向(100)织构达到50%以上的织构组分,而且对织构均匀性也提出更高的要求,从而确保了在使用中溅射速率一致。 |
申请公布号 |
CN102909299A |
申请公布日期 |
2013.02.06 |
申请号 |
CN201210291657.9 |
申请日期 |
2012.08.16 |
申请人 |
宁夏东方钽业股份有限公司 |
发明人 |
李兆博;李桂鹏;汪凯;同磊;张春恒 |
分类号 |
B21J5/06(2006.01)I;B21J5/08(2006.01)I |
主分类号 |
B21J5/06(2006.01)I |
代理机构 |
宁夏专利服务中心 64100 |
代理人 |
徐淑芬 |
主权项 |
一种高性能钽靶材的热锻工艺,其特征在于其工艺步骤为:首先将钽锭采用冷锻法进行一次锻造,随后酸洗、热处理后采用热锻法进行二次锻造,再次酸洗和热处理后采用热锻法进行三次锻造。 |
地址 |
753000 宁夏回族自治区石嘴山市大武口区冶金路 |