成膜装置

摘要

本发明的目的是提供一种能够容易地形成均匀的膜厚的覆膜、并且批量生产率良好的成膜装置。为此，具备具有多个基材保持部(7)的基材保持器(2)、和成膜用蒸发源(3)。成膜用蒸发源(3)包括圆筒状靶(11)，在圆筒状靶(11)的表面上形成有具有与其中心轴平行的方向的两条直线部和将这些直线部的两端彼此连接的弧状部的形状的腐蚀区域，成膜粒子从该腐蚀区域向圆筒状靶(11)的径向外侧蒸发。基材保持器(2)将各基材(W)沿基材保持部(7)的排列方向移动，以使其凹状成膜面(S)分别位于与腐蚀区域相对向的成膜位置。

主权项

一种成膜装置，是在真空容器内使成膜粒子堆积到分别具有凹状成膜面的多个基材的该凹状成膜面上而形成覆膜的成膜装置，其特征在于，具备：基材保持器，具有保持上述各基材的多个基材保持部；成膜用蒸发源，包括作为上述成膜粒子的原料的圆筒状靶，在上述圆筒状靶的表面上形成有其形状由与该圆筒状靶的中心轴平行的方向的两条直线部和将这些直线部的两端彼此连接的弧状部构成的腐蚀区域，上述成膜粒子从该腐蚀区域向上述圆筒状靶的径向外侧蒸发；上述基材保持器的各基材保持部被设置成使这些基材保持部在具有与上述圆筒状靶的中心轴平行的中心轴的圆筒面上沿着该圆筒面的周向相互排列、并且由各基材保持部保持的基材的凹状成膜面朝向上述圆筒面的径向外侧，上述基材保持器可绕上述圆筒面的中心轴旋转地设置在上述真空容器内，使得分别由上述各基材保持部保持的基材的凹状成膜面分别位于与上述腐蚀区域相对向且能使从该腐蚀区域蒸发的成膜粒子堆积在上述凹状成膜面上的成膜位置。