| 发明名称 | 一种光刻装置能量传感器 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种光刻装置能量传感器，包括：取样光学部分，对照明系统中的光线进行取样；光谱转换部分，将取样光线中的深紫外脉冲转换成可见光脉冲；光电转换部分，将可见光脉冲信号转换为电流信号；以及差分放大输出部分，将电流信号放大成电压信号输出。本发明的光刻装置能量传感器，能够实现大范围辐射波长的转换，提高辐射能量转换的线性度和能量密度的探测精度，从而提高光刻装置的剂量控制性能和生产良率。 | ||
| 申请公布号 | CN102914946A | 申请公布日期 | 2013.02.06 |
| 申请号 | CN201110222159.4 | 申请日期 | 2011.08.04 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 孙文凤;罗闻 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01J1/42(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人 | 王光辉 |
| 主权项 | 一种光刻装置能量传感器，包括：取样光学部分，对照明系统中的光线进行取样；光谱转换部分，将取样光线中的深紫外脉冲转换成可见光脉冲；光电转换部分，将可见光脉冲信号转换为电流信号；以及差分放大输出部分，将电流信号放大成电压信号输出。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号 | ||