发明名称 |
导孔链接构与测试方法 |
摘要 |
本发明公开了一种导孔链测试结构,包括基板、位于基板上的绝缘层、位于绝缘层上的第一导孔链、位于第一导孔链两侧的绝缘层上的第二导孔链,而处于第一导孔链的热效周围且位于基板下方的第一热源,以提供第一导孔链热能、以及用以加热第二导孔链的电流源,使得第二导孔链作为第一导孔链的第二热源。 |
申请公布号 |
CN102916000A |
申请公布日期 |
2013.02.06 |
申请号 |
CN201210277043.5 |
申请日期 |
2012.08.06 |
申请人 |
南亚科技股份有限公司 |
发明人 |
菲力普·J·爱尔兰;江文松 |
分类号 |
H01L23/544(2006.01)I;G01R31/26(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/544(2006.01)I |
代理机构 |
深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 |
代理人 |
江耀纯 |
主权项 |
一种导孔链测试结构,其特征在于,包含:一基板;位于所述基板上的一绝缘层;位于所述绝缘层上的一第一导孔链;一第二导孔链,位于所述第一导孔链两侧的所述绝缘层上,并位于所述第一导孔链的热效周围;一第一热源,位于所述基板下方,以提供所述第一导孔链热能;以及一电流源,以加热所述第二导孔链,使得所述第二导孔链作为所述第一导孔链的一第二热源。 |
地址 |
中国台湾桃园县 |