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发明名称 METAL NITRIDE CONTAINING FILM DEPOSITION USING COMBINATION OF AMINO-METAL AND HALOGENATED METAL PRECURSORS
摘要
申请公布号 EP2553141(A2) 申请公布日期 2013.02.06
申请号 EP20110763521 申请日期 2011.04.01
申请人 L'AIR LIQUIDE SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 发明人 HIGASHINO, KATSUKO;YANAGITA, KAZUTAKA
分类号 C23C16/448;C23C16/34;C23C16/36;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205 主分类号 C23C16/448
代理机构 代理人
主权项
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