磁控溅射设备

摘要

本实用新型涉及一种磁控溅射设备，包括衬底、靶材以及加热灯组件；所述靶材与衬底相对，所述加热灯组件为两组，对称设置在所述靶材的两侧，对所述衬底进行加热。本实用新型使用加热灯组件对衬底进行加热，取代电热丝，从而避免电热丝短路或者烧断。加热灯组件直接作用于衬底沉积有薄膜的一面，使得加热效果更好，并且能够避免衬底背表面温度过高而使衬底变形，加热灯组件结构简单，维持和更换也更方便。同时，加热灯组件对辉光区进行加热，加热了溅射粒子，使得溅射粒子到达衬底表面后，其能量会比电热丝加热时的要大，加热效果更好，从而使得制备的薄膜性能也大大提高。

主权项

一种磁控溅射设备，其特征在于，包括衬底、靶材以及加热灯组件；所述靶材的位置与衬底相对，所述加热灯组件为两组，对称设置在所述靶材的两侧，并且所述加热灯组件发出的光线加热所述衬底。