陶瓷烧结体、陶瓷球体以及陶瓷球体检查装置

摘要

本发明提供能够减少由反复载荷的疲劳引起的表面的剥离、并在表面加工时提高尺寸精度、并且耐磨损性以及耐久性优异的陶瓷烧结体以及陶瓷球体，并提供不破坏它们地检测表面层的内部的缺陷以及雪片的有无的陶瓷球体检查装置。陶瓷球体检查装置（100）将陶瓷球体（S）支承为在规定的位置能够自转，并利用受光机构（120）检测照光机构（110）的照射光来评价表面层的内部状态，其中受光机构（120）不对从照光机构（110）照射的照射光在陶瓷球体的表面反射的反射光进行检测。

主权项

一种耐磨损性优异的陶瓷烧结体，其是对包括氮化硅、和由Al2O3以及Y2O3构成的烧结辅助剂的混合物进行成型、烧结来得到的，其特征在于，体积密度在3.1g/cm3以上，平均结晶粒径在3μm以下，从表面至250μm的深度为止，没有10μm以上的缺陷以及20μm以上的白色斑点（雪片）。