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发明名称
摘要
申请公布号 JP5135668(B2) 申请公布日期 2013.02.06
申请号 JP20050252990 申请日期 2005.09.01
申请人 发明人
分类号 H01L29/739;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L29/739
代理机构 代理人
主权项
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