发明名称 |
用于制造电子部件的方法以及电子部件 |
摘要 |
给出一种用于制造电子部件(100)的方法,其中,多个布置在晶片中的芯片(3)在配备有至少一个芯片接触面(4,5)并且被钝化的主侧面上被配备有绝缘层(7)。在相应芯片(3)的至少一个芯片接触面(4,5)的区域内的绝缘层(7)被配备有开口(12)。相应芯片(3)的芯片接触面(4,5)被配备有预定厚度的芯片接触面金属化部(8,9),并且布置在晶片中的芯片(3)和所述晶片分离。 |
申请公布号 |
CN101765912B |
申请公布日期 |
2013.02.06 |
申请号 |
CN200880101035.7 |
申请日期 |
2008.07.17 |
申请人 |
西门子公司 |
发明人 |
K·韦德纳;W·霍夫曼;R·霍弗;H·施瓦茨鲍尔 |
分类号 |
H01L23/31(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I;H01L23/482(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/31(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
胡莉莉;李家麟 |
主权项 |
用于制造电子部件(100)的方法,其中:‑多个布置在晶片中的芯片(3)在配备有至少一个芯片接触面(4,5)并且被钝化的主侧面上被配备有绝缘层(7),‑所述绝缘层(7)在相应芯片(3)的至少一个芯片接触面(4,5)的区域中被配备有开口(12),‑将所述绝缘层(7)的层厚选择在10μm到500μm之间,‑相应芯片(3)的芯片接触面(4,5)被配备有预定厚度的芯片接触面金属化部(8,9),以及‑布置在晶片中的芯片(3)和所述晶片分离。 |
地址 |
德国慕尼黑 |