发明名称 用于制造电子部件的方法以及电子部件
摘要 给出一种用于制造电子部件(100)的方法,其中,多个布置在晶片中的芯片(3)在配备有至少一个芯片接触面(4,5)并且被钝化的主侧面上被配备有绝缘层(7)。在相应芯片(3)的至少一个芯片接触面(4,5)的区域内的绝缘层(7)被配备有开口(12)。相应芯片(3)的芯片接触面(4,5)被配备有预定厚度的芯片接触面金属化部(8,9),并且布置在晶片中的芯片(3)和所述晶片分离。
申请公布号 CN101765912B 申请公布日期 2013.02.06
申请号 CN200880101035.7 申请日期 2008.07.17
申请人 西门子公司 发明人 K·韦德纳;W·霍夫曼;R·霍弗;H·施瓦茨鲍尔
分类号 H01L23/31(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I;H01L23/482(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I 主分类号 H01L23/31(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 胡莉莉;李家麟
主权项 用于制造电子部件(100)的方法,其中:‑多个布置在晶片中的芯片(3)在配备有至少一个芯片接触面(4,5)并且被钝化的主侧面上被配备有绝缘层(7),‑所述绝缘层(7)在相应芯片(3)的至少一个芯片接触面(4,5)的区域中被配备有开口(12),‑将所述绝缘层(7)的层厚选择在10μm到500μm之间,‑相应芯片(3)的芯片接触面(4,5)被配备有预定厚度的芯片接触面金属化部(8,9),以及‑布置在晶片中的芯片(3)和所述晶片分离。
地址 德国慕尼黑