发明名称 辐射热计及其制造方法
摘要 在衬底(101)上形成聚合物膜(102),在聚合物膜(102)上形成热敏电阻器(106),并在热敏电阻器(106)与衬底(101)之间形成光反射膜(104)。因此,如果红外线或太赫兹波从上方入射,则一部分被热敏电阻器(106)吸收,并且大部分透过聚合物膜(102)并被光反射膜(104)反射。当热敏电阻器(106)与光反射膜(104)之间的距离是d时,具有用d=1/4表示且等于或小于1的波长的光分量谐振并变为热量,并且热敏电阻器(106)的温度上升。检测随着热敏电阻器(106)的温度上升的电阻变化,从而检测红外线或太赫兹波的强度。
申请公布号 CN102918369A 申请公布日期 2013.02.06
申请号 CN201180025093.8 申请日期 2011.05.11
申请人 日本电气株式会社 发明人 成田薰
分类号 G01J1/02(2006.01)I;H01C7/02(2006.01)I;H01L37/00(2006.01)I 主分类号 G01J1/02(2006.01)I
代理机构 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 代理人 李晓冬
主权项 一种辐射热计,包括:衬底;在所述衬底上形成的绝热层;在所述绝热层上形成的热敏电阻器;以及在所述热敏电阻器与所述衬底之间形成的光反射膜。
地址 日本东京都