发明名称 |
辐射热计及其制造方法 |
摘要 |
在衬底(101)上形成聚合物膜(102),在聚合物膜(102)上形成热敏电阻器(106),并在热敏电阻器(106)与衬底(101)之间形成光反射膜(104)。因此,如果红外线或太赫兹波从上方入射,则一部分被热敏电阻器(106)吸收,并且大部分透过聚合物膜(102)并被光反射膜(104)反射。当热敏电阻器(106)与光反射膜(104)之间的距离是d时,具有用d=1/4表示且等于或小于1的波长的光分量谐振并变为热量,并且热敏电阻器(106)的温度上升。检测随着热敏电阻器(106)的温度上升的电阻变化,从而检测红外线或太赫兹波的强度。 |
申请公布号 |
CN102918369A |
申请公布日期 |
2013.02.06 |
申请号 |
CN201180025093.8 |
申请日期 |
2011.05.11 |
申请人 |
日本电气株式会社 |
发明人 |
成田薰 |
分类号 |
G01J1/02(2006.01)I;H01C7/02(2006.01)I;H01L37/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01J1/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 |
代理人 |
李晓冬 |
主权项 |
一种辐射热计,包括:衬底;在所述衬底上形成的绝热层;在所述绝热层上形成的热敏电阻器;以及在所述热敏电阻器与所述衬底之间形成的光反射膜。 |
地址 |
日本东京都 |