改进氧化锌单晶质量的处理方法

摘要

一种改进氧化锌单晶质量的处理方法，该方法主要由切割、退火、抛光、清洗等几个主要步骤组成。本发明可以得到结构完整、单相性好的氧化锌衬底基片，可以满足ZnO同质外延薄膜的生长需要。

主权项

一种改进氧化锌单晶质量的处理方法，其特征在于该方法包括下列步骤：①将氧化锌晶体切割成所需大小的片状，细磨处理，使表面无刀痕，称为氧化锌研磨片；②在铂金坩锅底部垫纯度为99.9％～99.999％的ZnO粉末，粉末颗粒度为20~80μm，将所述的氧化锌研磨片平放在所述的ZnO粉末上；该铂金坩锅用烧结的氧化锌陶瓷板盖严，该氧化锌陶瓷板的纯度为99.9％～99.999％，厚度5～10mm；然后将所述的铂金坩锅放置在箱式马弗炉中进行退火；③退火过程：以5～10℃/min的速率升温至1100～1300℃，恒温180～300min，然后以5～10℃/min的速率降温至200～300℃，再关闭电源自然冷却到室温，取出后称为退火氧化锌研磨片；④对所述的退火氧化锌研磨片进行机械抛光，要求没有划痕,粗糙度<10nm，化学抛光，要求粗糙度≤0.5nm、平整度≤5μm，并清洗干净，洁净度达到百级，获得氧化锌单晶片最后用超净袋封装。