固体摄像装置、其制造方法以及电子设备

摘要

本发明提供了一种固体摄像装置，其包括：多个光电转换部，其配置为形成于半导体基板的摄像表面上；元件隔离部，其中形成有杂质扩散区，以便隔离所述摄像表面上的多个光电转换部；遮光部，其用于阻止入射光进入摄像表面上的元件隔离部；以及多个像素晶体管，其配置为形成于所述摄像表面上，且读出并输出多个光电转换部中产生的信号电荷以作为数据信号；其中，遮光部包括在多个光电转换部之间延伸的延伸部，且形成为使得遮光部的延伸部和像素晶体管的每个栅极彼此连接。本发明的固体摄像装置能够提高所拍摄的图像的图像质量和制造产量。

主权项

一种固体摄像装置的制造方法，该方法包括以下步骤：在半导体基板的摄像表面上形成多个光电转换部；在所述多个光电转换部之间形成杂质扩散区，所述杂质扩散区作为用于隔离所述摄像表面上的所述多个光电转换部的元件隔离部；在所述元件隔离部上方形成遮光部，所述遮光部用于阻止入射光进入所述摄像表面上的所述元件隔离部；以及在所述摄像表面上形成多个像素晶体管的栅极，所述多个像素晶体管配置为读出并输出所述多个光电转换部中产生的信号电荷以作为数据信号；其中，所述方法还包括以下步骤：在进行所述遮光部形成步骤和所述栅极形成步骤之前形成导电层，所述导电层通过形成具有遮光效果的导电材料层而形成，使得在所述摄像表面上包括形成有所述遮光部的部分和形成有所述多个像素晶体管的所述栅极的部分的区域被覆盖；以及其中，在所述遮光部形成步骤和所述栅极形成步骤中，通过图形化所述导电层而同时形成所述遮光部和所述栅极。