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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6278852(A) 申请公布日期 1987.04.11
申请号 JP19850218362 申请日期 1985.09.30
申请人 NEC CORP 发明人 NISHIMOTO SHOZO
分类号 H01L21/768;H01L21/31;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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