电子束激励式光源装置

摘要

提供一种电子束激励式光源装置，能够将来自电子束源装置的电子束效率良好地照射到半导体发光元件的一面上，并能够获取高光输出。该电子束激励式光源装置为，在真空容器的内部配置电子束源装置和半导体发光元件，该半导体发光元件被从该电子束源装置放射的电子束激励，从而放射紫外光，且构成为，在上述半导体发光元件上，设置有用于去除来自上述电子束源装置的电子束所入射的一面上的电荷的导电性的除电部件。

主权项

一种电子束激励式光源装置，在真空容器的内部配置电子束源装置和半导体发光元件而成，该半导体发光元件被从该电子束源装置放射的电子束激励从而放射紫外光，该电子束激励式光源装置的特征在于，在上述半导体发光元件，设置有用于去除来自上述电子束源装置的电子束所入射的一面上的电荷的导电性的除电部件。