拉制1.6米单晶棒工艺

摘要

本发明涉及一种拉制1.6米单晶棒工艺，将硅熔融液放置在石英坩埚，并使石英坩埚以规定的转速进行旋转，将待拉制1.6米的单晶棒分成若干个长度段：4段30长度段温度-9-1度，单晶棒拉速1.35-1.27，埚升速0.136-0.131；1段60长度段温度为2度，拉速为1.25，埚升速为0.129；3段150长度段温度为2度，拉速1.24-1.2，埚升速0.127-0.122；2段120长度段温度为2度，拉速1.18-1.16，埚升速0.119-0.115；3段100长度段温度为3度，拉速1.14-1.1，埚升速0.111-0.104；3段80长度段温度4-5度，拉速1.08-1.04，埚升速0.1-0.09；4段50长度段温度5-6度，拉速1.02-0.95，埚升速0.086-0.072；长度段单位为mm，拉速、埚升速的速度单位为min/mm。通过本工艺能够有效的提高单晶棒的生产速度，降低生产成本。

主权项

一种拉制1.6米单晶棒工艺，将硅熔融液放置在石英坩埚，并使石英坩埚以规定的转速进行旋转，将待拉制1.6米的单晶棒分成若干个长度段：4段30mm、1段60mm、3段150mm、2段120mm、3段100mm、3段80mm以及4段50mm，其特征在于：在拉制过程中，4段30mm长度段的温度从‑9度升至1度，单晶棒的拉速从1.35降至1.27，埚升速从0.136降至0.131；1段60mm长度段的温度为2度，单晶棒的拉速为1.25，埚升速为0.129；3段150mm长度段的温度为2度，单晶棒的拉速从1.24降至1.2，埚升速从0.127降至0.122；2段120mm长度段的温度为2度，单晶棒的拉速从1.18降至1.16，埚升速从0.119降至0.115；3段100mm长度段的温度为3度，单晶棒的拉速从1.14降至1.1，埚升速从0.111降至0.104；3段80mm长度段的温度从4度升至5度，单晶棒的拉速从1.08降至1.04，埚升速从0.1降至0.09；4段50mm长度段的温度从5度升至6度，单晶棒的拉速从1.02降至0.95，埚升速从0.086降至0.072；所述的拉速、埚升速的速度单位为min/mm。