利用超快激光在靶材表面制备大面积微光栅的方法及装置

摘要

本发明涉及激光表面处理技术领域，尤其是一种利用超快激光在靶材表面制备大面积微光栅的方法，该步骤依次为：通过改变超快激光的出射光路，以调整出射光束的能量以及偏振方向；通过分光片组将改变光路后的偏振光束分为多路能量相等的分束光束；通过柱面透镜组将出多路分束光束聚焦为能够在靶材表面形成微光栅结构的多路并行线性聚焦线光斑；通过样品控制台对靶材的位置进行控制，使多路线性聚焦线光斑能够在靶材表面进行全面扫描，以形成大面积的微光栅结构。实施上述方法的装置为设置在同一平台上的衰减片、半波片、分光片组与柱面透镜组。本发明提高了超快激光处理在靶材表面的处理速度，从而达到在靶材表面制备大面积微光栅结构的目的。

主权项

一种利用超快激光在靶材表面制备大面积微光栅的方法，其特征在于，包括以下步骤：100、通过改变超快激光的出射光路，以调整出射光束的能量以及偏振方向；101、通过分光片组将改变光路后的偏振光束分为多路能量相等的分束光束；102、通过柱面透镜组将出多路分束光束聚焦为能够在靶材表面形成微光栅结构的多路并行线性聚焦线光斑；103、通过样品控制台对靶材的位置进行控制，使多路线性聚焦线光斑能够在靶材表面进行全面扫描，以形成大面积的微光栅结构。