| 发明名称 | 液晶显示屏用铬蚀刻液及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种液晶显示屏用铬蚀刻液及其制备方法。该蚀刻液，包括硝酸铈铵、邻氟苯甲酸、双氧水和水。所述硝酸铈铵占所述蚀刻液总重的5-30％，优选10-25％，更优选20％；所述邻氟苯甲酸占所述蚀刻液总重的0.1-10％，优选1-5％；所述双氧水占所述蚀刻液总重的1-15％，优选5-10％；余量为所述水。本发明提供的蚀刻液，能够在不发生抗蚀涂层渗透的情况下进行蚀刻，显著提高铬金属膜的蚀刻速度，具有蚀刻速度可控性，有效抑制抗蚀保护层的劣化，得到表面平坦光滑的铬金属膜配线，具有重要的应用价值。 | ||
| 申请公布号 | CN102277573B | 申请公布日期 | 2013.02.06 |
| 申请号 | CN201110239175.4 | 申请日期 | 2011.08.19 |
| 申请人 | 绵阳艾萨斯电子材料有限公司 | 发明人 | 冯卫文 |
| 分类号 | C23F1/26(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人 | 关畅 |
| 主权项 | 一种液晶显示屏用铬蚀刻液，由硝酸铈铵、邻氟苯甲酸、双氧水和水组成；所述硝酸铈铵占所述蚀刻液总重的5‑30%；所述邻氟苯甲酸占所述蚀刻液总重的1‑5%；所述双氧水占所述蚀刻液总重的5‑10%；余量为所述水。 | ||
| 地址 | 621000 四川省绵阳市经开区机电工业园一期7号标准厂房 | ||