硬碳涂层及其形成方法

摘要

用于切削工具或磨损部件的涂层具有至少一个通过PVD方法形成的结晶SixC1-x-y-zNyMz层和至少一个为金刚石或DLC的硬碳层。Si和C是SixC1-x-y-zNyMz层的基本组分并且M是选自Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Y、B、Al和Ru的一种或多种元素(其中0.4≤x≤0.6，0≤y≤0.1和0≤z≤0.2)。当通过使用CuKα射线实施X-射线衍射(XRD)时，SixC1-x-y-zNyMz层具有3°或更小的在34°至36°衍射角观察到的SiC峰的半值宽度。在合适的温度和基体偏置条件下实施使用PVD形成涂层的方法。

主权项

一种包含涂层和基体的涂覆构件，所述涂层包含至少一个中间层和至少一个硬碳层；其中：所述硬碳层包含金刚石或DLC并且形成所述涂层的最外层；所述中间层包含具有SixC1‑x‑y‑zNyMz(其中0.4≤x≤0.6，0≤y≤0.1和0≤z≤0.2)组成的PVD‑形成的层，其中Si和C是基本组分并且M是一种或多种选自Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Y、B、Al和Ru的元素；并且当通过使用CuKα射线实施X射线衍射(XRD)时，在34°至36°衍射角观察到的SiC峰的半值宽度为3°或更小。