| 发明名称 | 一种气相外延设备进行材料生长的控制系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种气相外延设备进行材料生长的控制系统，属于半导体技术领域。本系统包括一工控机和一可编程控制器，所述工控机通过工业通信总线分别与气相外延设备的可编程控制器、气体流量计、和/或压力控制器、和/或加热器、和/或转动盘连接。设置多个温区加热器进行动态补偿衬底温度。在气动阀控制方面取消逐个控制，设置联动自动控制开关，根据各路源气的设定值，联动打开气动阀和设定MFC。在压力控制方面，增加限制蝶阀角度控制，控制范围在大于5°小于40°之间，达到压力平稳控制和保证气体一直往下流。在材料生长控制方面，除了能实现自动运行菜单外，创造实行跳步生长、无缝更新菜单和中途指定步生长。 | ||
| 申请公布号 | CN202717874U | 申请公布日期 | 2013.02.06 |
| 申请号 | CN201220221883.5 | 申请日期 | 2012.05.16 |
| 申请人 | 东莞市中镓半导体科技有限公司 | 发明人 | 袁志鹏;刘鹏;赵红军;张茶根;张俊业;毕绿燕;张国义;童玉珍;孙永健 |
| 分类号 | C30B25/16(2006.01)I | 主分类号 | C30B25/16(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 | 代理人 | 余长江 |
| 主权项 | 一种气相外延设备进行材料生长的控制系统，其特征在于包括一工控机和一可编程控制器，所述工控机通过工业通信总线分别与气相外延设备的可编程控制器、气体流量计、和/或压力控制器、和/或加热器、和/或转动盘连接。 | ||
| 地址 | 523500 广东省东莞市企石镇科技工业园 | ||