低吸附电压之射频微机电开关及其制造方法

摘要

本发明系有关于一种射频微机电开关及其制造方法，其中，此射频微机电开关包括：一基板、一下电极、及一上电极，且上电极包含一固定部、一静电板、两个悬臂梁、以及一扭转梁。透过本发明之扭转梁的设计，使得悬臂梁能提早进入不稳定状态，而达到于低吸附电压即可完全静电吸附的效果。由于本发明之射频微机电开关具有扭转梁的设计，因此不需要复杂的制程即能达成降低吸附电压及加大接触面积的效果，故更能适用于高频电路整合中。