基板支撑单元及其基板处理设备

摘要

一种基板支撑单元与使用该基板支撑单元的基板处理设备。该基板支撑单元包含一底板与一形成于该底板上之支撑部。该支撑部包含两个支撑杆与复数个支撑构件。该两个支撑杆向一预先决定的方向延伸以便彼此分隔。该复数个支撑构件系被设置于该预先决定的方向上以便彼此分隔。每一该支撑构件连接该等支撑杆。