预涂辊子清洗单元

摘要

本发明涉及用于清洗基板涂敷装置的预涂辊子的清洗单元，尤其涉及包含外壳和向所述外壳内部发射超声波的超声波生成单元的清洗单元及包含该清洗单元的基板涂敷装置。本发明具有提高预涂辊子的涂敷液清洗能力并简化清洗装置结构的效果。