| 摘要 |
一种光电调制器，包括基板、第一绝缘层、光波导、第一掺杂半导体层、第二绝缘层、第二掺杂半导体层以及第三绝缘层。第一绝缘层配置于基板。光波导配置于第一绝缘层。光波导包括第一半导体层、第二半导体层以及第三半导体层。第一半导体层配置于第一绝缘层。第二半导体层配置于第一半导体层。第三半导体层配置于第二半导体层。第一掺杂半导体层配置于第一绝缘层且位于光波导的相对二侧以电性连接光波导。第二绝缘层配置于基板以覆盖第一掺杂半导体层。第二掺杂半导体层配置于第二绝缘层且位于第三半导体层的一侧以电性连接第三半导体层。 |
