| 摘要 |
一种氧化锌铝透明导电薄膜制程，其中真空溅镀腔体内主要设有离子源溅镀枪、靶材固定基座、被基座固定之靶材及镀制品，该镀制品在真空溅镀腔体内进行离子束溅镀，并且可以在室温高真空度下的条件镀制，以一支离子源溅镀枪同时溅镀一样或多样材料。上述设备镀制AZO薄膜，可以选择对两种单一材料靶材同时共镀、或混合两种材料之单一靶材镀制、或单一材料靶材与混合材料靶材共镀。置放靶材的基座能调整靶材位置，AZO组合的比例就能以共镀方式调整靶材基座位置，两靶材同时在不同的轰击面积下决定混合比例，进一步能分析出实际薄膜成分比例及特性，就能准确有效地调变AZO组合成分，且能在室温下制镀出高透光性及导电性佳的成品。 |
