| 发明名称 |
沉积隔离盘 |
| 摘要 |
一种设于化学气相沉积系统内之沉积隔离盘。此沉积隔离盘包括阻隔盘及张力盘。阻隔盘具有多个圆弧状外缘、内壁及相对之阻隔表面与阻隔底面。张力盘具有张力表面及外壁。张力盘之外壁更具有组合结构，使得张力盘之外壁支撑阻隔盘之内壁。 |
| 申请公布号 |
TWM446413 |
申请公布日期 |
2013.02.01 |
| 申请号 |
TW101215903 |
申请日期 |
2012.08.17 |
| 申请人 |
隆达电子股份有限公司 新竹市科学园区工业东三路3号 |
发明人 |
杨荣峯 |
| 分类号 |
H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
祁明辉 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2;林素华 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2;涂绮玲 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2 |
| 主权项 |
|
| 地址 |
新竹市科学园区工业东三路3号 |
