发明名称 组合式修整器
摘要 一种组合式修整器,包括一大基板,设有一结合面、一底面及复数穿透孔或复数容置槽;复数研磨单元,分别具有复数磨粒;复数磨粒分别具有复数切削端;复数穿透孔或复数容置槽分别容置复数研磨单元,复数切削端分别突出结合面;复数研磨单元与大基板之间藉由结合剂固定结合;复数磨粒的复数切削端分别与一平面的高度差异在20微米内;较容易使大面积组合式修整器的多数磨粒的切削端在同一高度,可视需要变化不同的磨粒,且制作复数小的研磨单元再组合成一大面积修整器的成本较低。
申请公布号 TWI383860 申请公布日期 2013.02.01
申请号 TW098136436 申请日期 2009.10.28
申请人 宋健民 新北市淡水区中正路32巷4号;陈盈同 桃园县桃园市中正路344号 发明人 宋健民;陈盈同
分类号 B24B53/12;H01L21/304 主分类号 B24B53/12
代理机构 代理人 王明昌 台北市文山区木栅路4段149巷3号8楼
主权项
地址 桃园县桃园市中正路344号