振动位移与振动频率决定方法与其装置

摘要

一种干涉振动位移决定方法，透过具有相位差之高同调干涉图案上之光讯号，取得待测物与干涉装置上之一参考面之间之位置偏移量。利用前述之方法重复进行复数次的量测之后，建立出偏移量与时间之关系序列，再根据该序列决定出该待测物之振动频率。在另一实施例中，揭露一干涉装置，其系利用光学干涉条纹判定的技术，即时计算出待测物与干涉装置上之一参考面之相对位置，进而即时补偿干涉装置受到振动时之影响，以得到待测物表面形貌与振动频率。