发明名称 雷射扫描装置及其方法
摘要 一种雷射扫描装置及其方法,该装置包括雷射输出单元、光形旋转单元、扫描单元与控制单元。雷射输出单元用以输出雷射光束。光形旋转单元配置在雷射光束之行进光路上,用以将雷射光束之光斑,旋转一预定角度。扫描单元用以接收光斑已旋转预定角度的雷射光束,对一承载单元上的物件进行扫描。控制单元耦接于光形旋转单元与扫描单元之间,用以依据扫描单元的扫描位置,产生预定角度。
申请公布号 TWI383855 申请公布日期 2013.02.01
申请号 TW098141036 申请日期 2009.12.01
申请人 财团法人工业技术研究院 新竹县竹东镇中兴路4段195号 发明人 杨映晖;林于中;李闵凯;刘松河
分类号 B23K26/06;H01L21/308 主分类号 B23K26/06
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项
地址 新竹县竹东镇中兴路4段195号