发明名称 |
雷射扫描装置及其方法 |
摘要 |
一种雷射扫描装置及其方法,该装置包括雷射输出单元、光形旋转单元、扫描单元与控制单元。雷射输出单元用以输出雷射光束。光形旋转单元配置在雷射光束之行进光路上,用以将雷射光束之光斑,旋转一预定角度。扫描单元用以接收光斑已旋转预定角度的雷射光束,对一承载单元上的物件进行扫描。控制单元耦接于光形旋转单元与扫描单元之间,用以依据扫描单元的扫描位置,产生预定角度。 |
申请公布号 |
TWI383855 |
申请公布日期 |
2013.02.01 |
申请号 |
TW098141036 |
申请日期 |
2009.12.01 |
申请人 |
财团法人工业技术研究院 新竹县竹东镇中兴路4段195号 |
发明人 |
杨映晖;林于中;李闵凯;刘松河 |
分类号 |
B23K26/06;H01L21/308 |
主分类号 |
B23K26/06 |
代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
主权项 |
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地址 |
新竹县竹东镇中兴路4段195号 |