发明名称 VERTIKALER TRANSISTOR MIT VERBESSERTER ROBUSTHEIT
摘要 Beschrieben wird ein Transistor. Der Transistor umfasst einen Halbleiterkörper (100) mit einer ersten horizontalen Oberfläche (101); ein Driftgebiet (13), das in dem Halbleiterkörper (100) angeordnet ist; mehrere Gateelektroden (21), die in Gräben des Halbleiterkörpers (100) angeordnet sind, wobei die Gräben eine Längsrichtung aufweisen und wenigstens annäherungsweise parallel zueinander verlaufen, wobei die Längsrichtung der Gräben einer ersten lateralen Richtung x des Halbleiterkörpers (100) entspricht; Bodygebiete (121, 122), die zwischen den Gräben angeordnet sind; und Sourcegebiete (11), die zwischen den Gräben angeordnet sind, wobei die Bodygebiete (121, 122) in einer vertikalen Richtung des Halbleiterkörpers (100) zwischen dem Driftgebiet (13) und den Sourcegebieten (11) angeordnet sind, wobei die Sourcegebiete (11) und die Bodygebiete (122) in der ersten lateralen Richtung in der ersten horizontalen Oberfläche (101) abwechselnd angeordnet sind und wobei eine Sourceelektrode (31) in der ersten horizontalen Oberfläche (101) elektrisch an die Sourcegebiete (11) und die Bodygebiete (122) angeschlossen ist.
申请公布号 DE102012213099(A1) 申请公布日期 2013.01.31
申请号 DE201210213099 申请日期 2012.07.25
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AUSTRIA AG 发明人 ASAM, MICHAEL;SANDER, RAINALD;STECHER, MATTHIAS;WINKLER, MARKUS
分类号 H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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