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发明名称 VORRICHTUNG ZUR INTERFEROMETRISCHEN ERFASSUNG VON OBERFLAECHENSTRUKTUREN
摘要
申请公布号 DE3906118(A1) 申请公布日期 1990.08.30
申请号 DE19893906118 申请日期 1989.02.28
申请人 ROBERT BOSCH GMBH, 7000 STUTTGART, DE 发明人 PFENDLER, THOMAS, ING.(GRAD.), 7016 GERLINGEN, DE;DRABAREK, PAWEL, DIPL.-ING., 7257 DITZINGEN, DE
分类号 G01B9/02;G01B11/30 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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