INTEGRATED SCANNING TUNNELING MICROSCOPE.

摘要

La présente invention décrit un microscope à action tunnel avec balayage intégré et un transducteur piézo-électrique intégré ainsi que des procédés de fabrication de l'un et de l'autre. Ledit dispositif se compose d'une ou de deux consoles bimorphes piézo-électriques à bras (42, 46), fabriquées par micro-usinage au moyen d'opérations de traitement de circuits imprimés standards. Ces consoles sont fixés au substrat (32) par une zone (80) et sont libres de se déplacer sous l'influence des forces piézo-électriques créées par l'application de tensions appropriées produites par des circuits de commande (88) et appliquées à des paires d'électrodes (48, 36, 44; 52, 49, 44) faisant partie intégrante de la structure des consoles bimorphes. Les champs électriques créés par les tensions de commande amènent les consoles bimorphes pièzo-électriques à se déplacer de n'importe quelle façon désirée à l'intérieur de limites déterminées par la conception du dispositif. Les consoles bimorphes présentent des pointes (66) aux extrémités très aiguees, qui se déplacent sous l'action du circuit de commande (88) et des consoles bimorphes piézo-électriques de façon à rester à une distance très courte d'une surface conductrice (84). Les mouvements de la pointe peuvent être suivis de façon à produire une image de la surface avec une résolution de l'ordre de l'atome.