| 发明名称 |
Gasentladungs-Laseroszillationsgerät |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE60305136(T3) |
申请公布日期 |
2013.01.31 |
| 申请号 |
DE20036005136T |
申请日期 |
2003.12.10 |
| 申请人 |
FANUC LTD |
发明人 |
EGAWA, AKIRA;MAEDA, MICHINORI |
| 分类号 |
H01S3/03;H01S3/104;H01S3/036;H01S3/038;H01S3/07;H01S3/08;H01S3/0975 |
主分类号 |
H01S3/03 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
