摘要 |
Mikrophonanordnung, umfassend eine Stapelanordnung (1), die – einen ersten Halbleiterkörper (10) mit einer Mikrophonstruktur (13) und – einen zweiten Halbleiterkörper (80) mit – einer ersten Hauptfläche (81), auf der eine integrierte Schaltung (83) angeordnet ist, und – einer zweiten Hauptfläche (82), die dem ersten Halbleiterkörper (10) zugewandt ist, umfasst, wobei die Mikrophonstruktur (13) Leiterbahnen, die in unterschiedlichen leitenden Schichten (23, 24) der Mikrophonstruktur (13) angeordnet sind, umfasst, der zweite Halbleiterkörper (80) eine Durchkontaktierung (84) von der ersten zu der zweiten Hauptfläche (81, 82) und eine weitere Durchkontaktierung (85) umfasst, die Durchkontaktierungen (84, 85) mindestens zwei unterschiedliche Längen aufweisen sowie die Durchkontaktierungen (84, 85) die Leiterbahnen mit der ersten Hauptfläche (81) des zweiten Halbleiterkörpers (80) verbinden.
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