发明名称 Mikrophonanordnung und Verfahren zu deren Herstellung
摘要 Mikrophonanordnung, umfassend eine Stapelanordnung (1), die – einen ersten Halbleiterkörper (10) mit einer Mikrophonstruktur (13) und – einen zweiten Halbleiterkörper (80) mit – einer ersten Hauptfläche (81), auf der eine integrierte Schaltung (83) angeordnet ist, und – einer zweiten Hauptfläche (82), die dem ersten Halbleiterkörper (10) zugewandt ist, umfasst, wobei die Mikrophonstruktur (13) Leiterbahnen, die in unterschiedlichen leitenden Schichten (23, 24) der Mikrophonstruktur (13) angeordnet sind, umfasst, der zweite Halbleiterkörper (80) eine Durchkontaktierung (84) von der ersten zu der zweiten Hauptfläche (81, 82) und eine weitere Durchkontaktierung (85) umfasst, die Durchkontaktierungen (84, 85) mindestens zwei unterschiedliche Längen aufweisen sowie die Durchkontaktierungen (84, 85) die Leiterbahnen mit der ersten Hauptfläche (81) des zweiten Halbleiterkörpers (80) verbinden.
申请公布号 DE102006047203(B4) 申请公布日期 2013.01.31
申请号 DE200610047203 申请日期 2006.10.05
申请人 AUSTRIAMICROSYSTEMS AG 发明人 SCHRANK, FRANZ
分类号 H04R19/04;B81B7/02 主分类号 H04R19/04
代理机构 代理人
主权项
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