发明名称 RICHTUNGSEMPFINDLICHER DURCHFLUSSANZEIGER.
摘要
申请公布号 AT69647(T) 申请公布日期 1991.12.15
申请号 AT19880201994T 申请日期 1988.09.14
申请人 BRONKHORST HIGH-TECH B.V. 发明人 HUIJSING, JOHAN HENDRIK;VAN OUDSHEUSDEN, BASTIAAN WILLEM
分类号 G01F1/68;G01P5/10;G01P13/02;H01L35/32;(IPC1-7):G01F1/68 主分类号 G01F1/68
代理机构 代理人
主权项
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