一种转盘式气体分配器

摘要

一种转盘式气体分配器，包括环形转动盘和环形固定盘；上述环形转动盘的下表面可转动地压紧在环形固定盘的上表面上；上述环形转动盘上设有多路气体通道，上述气体通道的进气口设在环形转动盘的侧面上，气体通道的出气口设在环形转动盘的下表面上；上述环形固定盘上设有抽真空孔，环形固定盘上抽真空孔的位置与环形转动盘上出气口的位置在同一圆周上；上述环形固定盘其上表面的内周边和外周边上设有一个油膜密封机构。通过环形固定盘其上表面内周边和外周边上的油膜密封机构，能够使环形转动盘的下表面与环形固定盘的上表面之间具有良好的密封性能，同时，上述油膜密封机构不会发生磨损，因此，本转盘式气体分配器的密封效果好、使用寿命长。

主权项

一种转盘式气体分配器，其特征在于：包括环形转动盘和环形固定盘；上述环形转动盘的下表面可转动地压紧在环形固定盘的上表面上；上述环形转动盘上设有多路气体通道，上述气体通道的进气口设在环形转动盘的侧面上，上述气体通道的出气口设在环形转动盘的下表面上；上述环形固定盘上设有抽真空孔，上述环形固定盘上抽真空孔的位置与环形转动盘上出气口的位置在同一圆周上；上述环形固定盘其上表面的内周边和外周边上设有一个油膜密封机构。