用于防止气体混合的大面积沉积装置

摘要

公开了一种用于防止气体混合的大面积沉积装置。本发明涉及的用于防止气体混合的大面积沉积装置使用了多重管结构的喷嘴，将每种气体供给到不同的喷嘴，因此气体从腔室喷出时，均匀混合之后，向腔室内部均匀喷出。即，能够利用简单结构来防止气体在流入腔室内部之前混合，而且使气体均匀混合之后向腔室内部均匀喷射，从而具有降低成本的效果。此外，喷嘴左右振动的同时喷射气体，因此气体更加均匀地混合之后向腔室内部的基板更加均匀地喷出，从而提高在基板上沉积的膜的品质。而且，可以分别拆卸各喷嘴进行维修或清洗，从而具有易于进行维护作业的效果。

主权项

一种用于防止气体混合的大面积沉积装置，其特征在于，包括：腔室，提供向基板沉积规定物质所需的沉积空间；多个供给口，设在所述腔室的一侧，并向所述腔室内部供给气体；多个供给管，配置在所述腔室内部，并连接于各所述供给口；以及多个喷嘴，配置在投放于所述腔室内的所述基板的上方，沿各所述供给管连接，且彼此交替配置，从而向所述基板的上表面交替喷射不同的气体。