半导体产业的污水净化循环系统

摘要

本发明公开了一种半导体产业的污水净化循环系统，包括：以超滤膜滤器为主要滤材所构成的超滤膜净水回收系统中，依污水固体含量多寡在系统适当流程中结合一离心装置，借由离心装置将水中固体微粒以离心力作用，自污水中分离出来，被分离出的固体微粒，其含水率可降低至重量百分比50％以下，可省略掉传统需要再进行污水处理作业的程序，直接依污泥弃物流程丢弃；而部分研磨工艺的污水含高纯度的硅，其固体微粒经离心装置的离心脱水至含水率达重量百分比25％以下，可再行回收；前述经离心装置分离出来的液态水被重新再导入超滤膜净水回收系统的初始端，进行重复过滤作业。

主权项

一种半导体产业的污水净化循环系统，其特征在于，该污水净化循环系统以超滤膜滤器为主要滤材，配合原水储槽、原水泵、清水储槽、逆洗泵、浓缩水储槽、离心供水泵及两个以上管路组成超滤膜净水回收系统，该超滤膜净水回收系统结合有一离心装置；该离心装置连结于所述离心供水泵，能接收来自所述浓缩水储槽的污水，将污水中固体微粒分离出来，前述分离出来的固体微粒以排渣方式排出，而所分离出来的液态水，再以所述超滤膜净水回收系统进行重复性的循环过滤作业，且经所述超滤膜净水回收系统透析后的清净水，可供作为加工工艺的清洗用水。