发明名称 半导体器件和用于制造半导体的方法
摘要 本发明涉及半导体器件和用于制造半导体的方法,其中该半导体器件包括:半导体基底、在半导体基底上的无机隔离层和在无机隔离层上的金属化层。金属化层包括熔断器结构。至少在熔断器结构的区域,金属化层和无机隔离层具有公共界面。
申请公布号 CN102903701A 申请公布日期 2013.01.30
申请号 CN201210269333.5 申请日期 2012.07.30
申请人 英飞凌科技股份有限公司 发明人 加布里埃莱·贝蒂纳施;迈克尔·舍雷克;乌韦·赛德尔;沃尔夫冈·沃尔特;于贝尔·维尔特曼
分类号 H01L23/62(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I 主分类号 H01L23/62(2006.01)I
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人 余刚;吴孟秋
主权项 一种半导体器件,包括:半导体基底;在所述半导体基底上的无机隔离层;以及在所述无机隔离层上的金属化层,所述金属化层包括熔断器结构,其中,至少在所述熔断器结构的区域中,所述金属化层与所述无机隔离层具有公共界面。
地址 德国瑙伊比贝尔格市