晶圆末端执行器

摘要

一种晶圆末端执行器，所述晶圆末端执行器的近端与所述机械手连接并且伸展到远端，所述晶圆末端执行器的远端设置具有远端支撑块的边缘接触夹持式指钩，且所述远端支撑块自所述晶圆末端执行器的近端向所述晶圆末端执行器的远端形成预设倾角α。本发明通过在所述晶圆末端执行器的远端设置具有倾角的远端支撑块，使得所述晶圆与所述晶圆末端执行器接触时仅为边缘的线接触，不仅减少了接触面积，而且避免了因所述晶圆位置不当造成取片过程中的划伤和损坏，改善产品良率，提高设备产能。

主权项

一种晶圆末端执行器，所述晶圆末端执行器的近端与所述机械手连接并且伸展到远端，其特征在于，所述晶圆末端执行器的远端设置具有远端支撑块的边缘接触夹持式指钩，且所述远端支撑块自所述晶圆末端执行器的近端向所述晶圆末端执行器的远端形成预设倾角α。