基于趋势的过程控制目标设定方法和系统

摘要

本公开涉及基于趋势的过程控制目标设定方法和系统。在过程控制环境中基于过程控制观测数据确定用于实体(例如产品)的适当目标。优选实施例在设计用于使目标设定过程自动化的层次结构中组织数据；基于该数据结构得出用于各种部件的目标判断标准；应用技术以估算(在合适的情况下)结合偏差校正技术使用基于采样数量的修整的比例；并且基于组合判断标准和用于特征化部件质量的参数的置信区域得出目标。

主权项

一种计算机实施的在过程控制环境中基于趋势的目标设定方法，包括：从多个实体中选择特定的实体；获取用于相关实体组的过程控制历史数据，所述组包括选定的实体以及所述多个实体中的至少一个另外的实体；根据获取的过程控制历史数据确定所观测到的组内每一个实体的不合格样本数和每一个实体的样本总数；根据确定的不合格样本数和确定的样本总数计算用于所述组内的每一个实体的不合格率；利用算出的用于所述组内的每一个实体的不合格率计算用于所述组的代表性不合格率；以及设定期望不合格率作为用于选定实体的过程控制目标，所述期望不合格率根据算出的用于组内每一个实体的不合格率和算出的用于所述组的代表性不合格率得出。