主权项 |
一种直写式光刻机在步进式曝光时的二维拼接处理方法,其特征在于:直写式光刻机包括有曝光光源、图形发生器、安装于移动平台上的基底,曝光光源、二值图形发生器之间安装有光学集光系统;图形发生器与基底之间设有倾斜的分束器与可更换的透镜,分束器的反射光再经反射镜进入CCD相机,CCD相机外接计算机; 具体的拼接处理方法包括以下步骤:(1)将需要曝光的图形拆分成多个空间光调制器视场大小的单色位图;(2)通过控制移动平台的步进运动,使空间光调制器在基底上的投影也做步进式叠加运动;(3)移动平台首先移动到起始曝光位置,从步骤(1)的结果中查找当前位置的图片并发送到空间光调制器中显示,完成单次曝光;(4)然后沿X方向步进半个空间光调制器宽度的距离再次曝光;(5)再沿X轴回退半个空间光调制器宽度的距离同时沿Y方向步进半个空间光调制器高度的距离再次曝光;(6)最后沿X方向步进半个空间光调制器宽度的距离再次曝光,在每个曝光位置,平台都做Z字形轨迹运动,共需要完成4次曝光,自此完成了一个曝光位置的曝光;(7)移动平台移动到下一个曝光位置,重复步骤(3)‑(6),完成该位置的曝光;(8)重复步骤(7),直至完成整个基底的曝光。 |