发明名称 |
显示面板及其制作方法 |
摘要 |
本发明提供一种显示面板的制作方法,包括:提供一基板,包括一有源区和一像素区;形成一第一金属层,于基板上;形成一栅极介电层于第一金属层上;形成一氧化物半导体层于有源区和像素区上方的栅极介电层上;对像素区上方氧化物半导体层进行一处理步骤,使其具备导电性,其中有源区上的半导体层用作一有源层,像素区上方的处理过的氧化物半导体层用作一像素电极;及形成一第二金属层,连接有源层和像素电极。 |
申请公布号 |
CN102903674A |
申请公布日期 |
2013.01.30 |
申请号 |
CN201110220081.2 |
申请日期 |
2011.07.26 |
申请人 |
奇美电子股份有限公司;群康科技(深圳)有限公司 |
发明人 |
丁景隆;周政旭;张荣芳 |
分类号 |
H01L21/77(2006.01)I;H01L27/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/77(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
骆希聪 |
主权项 |
一种显示面板的制作方法,包括:提供一基板,包括一有源区和一像素区;形成一第一金属层于该基板上;形成一栅极介电层于该第一金属层上;形成一氧化物半导体层于该有源区和像素区上方的栅极介电层上;形成一第二金属层,连接该有源层和该像素电极;沉积一保护层,暴露该基板的像素区上方的氧化物半导体层;及对该像素区上方氧化物半导体层进行一处理步骤,使其具备导电性,其中该有源区上的半导体层是用作一有源层,该像素区上方的处理过的氧化物半导体层是用作一像素电极。 |
地址 |
中国台湾新竹科学工业园区苗栗县竹南镇科学路160号 |