发明名称 显示面板及其制作方法
摘要 本发明提供一种显示面板的制作方法,包括:提供一基板,包括一有源区和一像素区;形成一第一金属层,于基板上;形成一栅极介电层于第一金属层上;形成一氧化物半导体层于有源区和像素区上方的栅极介电层上;对像素区上方氧化物半导体层进行一处理步骤,使其具备导电性,其中有源区上的半导体层用作一有源层,像素区上方的处理过的氧化物半导体层用作一像素电极;及形成一第二金属层,连接有源层和像素电极。
申请公布号 CN102903674A 申请公布日期 2013.01.30
申请号 CN201110220081.2 申请日期 2011.07.26
申请人 奇美电子股份有限公司;群康科技(深圳)有限公司 发明人 丁景隆;周政旭;张荣芳
分类号 H01L21/77(2006.01)I;H01L27/02(2006.01)I 主分类号 H01L21/77(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 骆希聪
主权项 一种显示面板的制作方法,包括:提供一基板,包括一有源区和一像素区;形成一第一金属层于该基板上;形成一栅极介电层于该第一金属层上;形成一氧化物半导体层于该有源区和像素区上方的栅极介电层上;形成一第二金属层,连接该有源层和该像素电极;沉积一保护层,暴露该基板的像素区上方的氧化物半导体层;及对该像素区上方氧化物半导体层进行一处理步骤,使其具备导电性,其中该有源区上的半导体层是用作一有源层,该像素区上方的处理过的氧化物半导体层是用作一像素电极。
地址 中国台湾新竹科学工业园区苗栗县竹南镇科学路160号