一种空气刀装置

摘要

本实用新型公开了一种空气刀装置，包括气刀本体，所述气刀本体包括固定连接、且相对的两个面形成气体腔室的第一板体和第二板体，所述第一板体和第二板体的一端形成具有一线气体喷射口的喷嘴部，所述气体喷射口与气体腔室流体连通，所述第一板体具有与气体腔室流体连通的至少一个气体通入口，所述第一板体背离所述气体腔室的外表面形成用于将第一板体上汇聚的液体导离气体喷射口对应区域的至少一个导流槽，所述导流槽贯穿所述第一板体的长度方向。本实用新型提供的空气刀装置在使用过程中通过导流槽，将溅落到第一板体的外表面的液滴汇聚而成的液流被导向别处流下，进而降低了液流对气体喷射口形成的气幕均匀性的影响。

主权项

一种用于湿法刻蚀设备的空气刀装置，包括气刀本体，所述气刀本体包括固定连接、且相对的两个面形成气体腔室的第一板体和第二板体，所述第一板体和第二板体的一端形成具有一线气体喷射口的喷嘴部，所述气体喷射口与气体腔室流体连通，所述第一板体具有与气体腔室流体连通的至少一个气体通入口，其特征在于，所述第一板体背离所述气体腔室的外表面形成用于将第一板体上汇聚的液体导离气体喷射口对应区域的至少一个导流槽，所述导流槽贯穿所述第一板体的长度方向。