发明名称
摘要
申请公布号 JP5134030(B2) 申请公布日期 2013.01.30
申请号 JP20100063328 申请日期 2010.03.18
申请人 发明人
分类号 H05H1/00;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/3065;H05H1/46 主分类号 H05H1/00
代理机构 代理人
主权项
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