发明名称 采用LCOS的激光微加工系统及其加工方法
摘要 本发明涉及一种采用LCOS的激光微加工系统,所述系统包含有用于产生激光的激光发生器(1),所述激光发生器(1)发出的激光的光路上依次设置有扩束镜(2)、LCOS(3)、缩束镜(5)和聚焦镜(6),所述LCOS(3)与一计算机处理器(4)相连。本发明采用LCOS的激光微加工系统,通过采用计算机程序实现激光波束的方向和强度的改变和控制、避免了使用机械运动部件,使用灵活性强且加工精度稳定,对激光微加工设备的光束控制和处理技术是一种革命性的改变。
申请公布号 CN102896421A 申请公布日期 2013.01.30
申请号 CN201210265415.2 申请日期 2012.07.30
申请人 沈明亚;苏州德龙激光股份有限公司 发明人 沈明亚;赵裕兴
分类号 B23K26/06(2006.01)I;B23K26/067(2006.01)I;B23K26/00(2006.01)I 主分类号 B23K26/06(2006.01)I
代理机构 江阴市同盛专利事务所 32210 代理人 唐纫兰;沈国安
主权项 一种采用LCOS的激光微加工系统,其特征在于:所述系统包含有用于产生激光的激光发生器(1),所述激光发生器(1)发出的激光的光路上依次设置有扩束镜(2)、LCOS(3)、缩束镜(5)和聚焦镜(6),所述LCOS(3)与一计算机处理器(4)相连。
地址 215021 江苏省苏州市工业园区苏虹中路77号