| 发明名称 |
ELEMENTAL MERCURY SOURCE FOR METAL-ORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0386190(B1) |
申请公布日期 |
1994.02.09 |
| 申请号 |
EP19890908643 |
申请日期 |
1989.07.17 |
| 申请人 |
SANTA BARBARA RESEARCH CENTER |
发明人 |
AHLGREN, WILLIAM, L. |
| 分类号 |
C30B25/14;C23C16/30;C23C16/44;C23C16/448;C30B25/12;H01L21/365;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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