ICP-MS在线取样装置及金属杂质在线监测方法

摘要

本发明公开了一种ICP-MS在线取样装置，该装置包括：框架、设置在所述框架内的管路连接系统以及管路控制系统，所述管路连接系统连接待测试的化学系统与ICP-MS取样针，所述管路控制系统对所述管路连接系统进行控制。同时本发明还公开了一种金属杂质在线监测方法，该方法通过所述ICP-MS在线取样装置连接ICP-MS分析仪和待测试化学系统，实现对所述待测试化学系统的金属杂质的监测。由于该ICP-MS在线取样装置可直接连接待测试的化学品系统与ICP-MS分析仪，从而使测量结果不受取样环境、样品转换交叉污染和取样容器的影响，可以满足ppt级别的化学品的日常监测，并且可实现一台ICP-MS分析仪监测多种化学品系统中的金属杂质，从而节省了成本。

主权项

一种ICP‑MS在线取样装置，用于连接ICP‑MS分析仪和待测试化学系统，其中所述ICP‑MS分析仪包括ICP‑MS取样针，所述待测试化学系统包括多个化学品系统，其特征在于，包括：框架、设置在所述框架内的管路连接系统以及管路控制系统，所述管路连接系统连接所述待测试的化学系统与所述ICP‑MS取样针，所述管路控制系统对所述管路连接系统进行控制；所述管路连接系统包括空白验证管路系统以及化学测试管路系统，所述空白验证管路系统对所述化学测试管路系统建立测试标准，并对所述化学测试管路系统进行清洁；所述空白验证管路系统包括通过管道依次相连的第一阀门、第四阀门、水槽、第五阀门以及第一连接器，所述第一阀门连接一超纯水系统，所述水槽通过管道与一微量取样泵相连，所述微量取样泵通过管道与一标准溶液瓶相连，所述第一连接器与所述ICP‑MS取样针相连。