研磨垫及研磨装置

摘要

本实用新型公开了一种研磨垫，所述研磨垫包括内部区域和外部区域，所述外部区域位于所述内部区域的外侧，所述内部区域内设有若干同心的圆形沟槽，所述若干同心的圆形沟槽以研磨垫的中心为圆心，所述外部区域间隔设置若干由内向外发散的导流槽，位于中心区域的圆形沟槽能够起到保留研磨液的作用，以提高研磨液利用率；而位于外部区域的导流槽，可以使得研磨液快速移动，从而保证研磨液的新鲜度和研磨效率；同时，可以使得堆积于研磨垫的外围区域的研磨液副产物能够快速排离研磨垫，不但可以确保研磨液均匀分布，而且可以避免研磨液副产物引发晶圆表面出现划伤、腐蚀、凹坑等缺陷，提高产品良率。本实用新型还公开了采用上述研磨垫的研磨装置。

主权项

一种研磨垫，其特征在于，所述研磨垫包括内部区域和外部区域，所述外部区域位于所述内部区域的外侧，所述内部区域内设有若干同心的圆形沟槽，所述若干同心的圆形沟槽以研磨垫的中心为圆心，所述外部区域间隔设置若干由内向外发散的导流槽。