一种实现薄膜厚度精确测量的装置

摘要

本实用新型提出了一种实现薄膜厚度精确测量的装置，包括迈克尔逊干涉仪、图像传感器CCD、数据采集模块、硬件和驱动电路；迈克尔逊干涉仪用于产生干涉条纹，且迈克尔逊干涉仪上设有点光源；CCD用于记录迈克尔逊干涉仪产生的干涉条纹，且CCD与数据采集模块电性连接；数据采集模块设有计数器，计数器用于对干涉条纹进行计数，且计数器将计数结果输送至硬件；硬件与数据采集模块电性连接，且硬件内设有数据处理及输出模块，且数据处理及输出模块将硬件内的信息进行处理并输出；驱动电路与CCD电性连接。本实用新型具有快速、准确、无损伤和测量范围大等优点，可应用于工业生产的在线检测，在纳米技术的基础性研究中也有一定的应用价值。

主权项

一种实现薄膜厚度精确测量的装置，其特征在于，包括：迈克尔逊干涉仪，所述迈克尔逊干涉仪用于产生干涉条纹，且所述迈克尔逊干涉仪上设有产生光强的点光源；图像传感器CCD，所述CCD用于记录迈克尔逊干涉仪产生的干涉条纹，且所述CCD与所述数据采集模块电性连接；数据采集模块，所述数据采集模块设有计数器，所述计数器用于对所述干涉条纹进行计数，且所述计数器将计数结果输送至所述硬件；硬件，所述硬件与所述数据采集模块电性连接，且所述硬件内设有数据处理及输出模块，且所述数据处理及输出模块将所述硬件内的信息进行处理并输出；驱动电路，所述驱动电路与所述CCD电性连接。