一种多晶硅制绒槽的滚轮

摘要

本实用新型提供一种多晶硅制绒槽的滚轮，包括滚轮轴和用以支撑和传送多晶硅片的滚轮本体，其特征在于：所述滚轮本体为等直径圆柱形，其与所述滚轮轴同轴固定连接，所述滚轮本体的轴向宽度大于或等于所述多晶硅片的边长。与现有技术相比，本实用新型提供的一种多晶硅制绒槽的滚轮，将其安装于制绒槽中，制绒时由于其滚轮本体为等直径圆筒形，多晶硅片在所述滚轮本体上传输时，多晶硅片的下表面与滚轮本体的表面完全线接触，因此与腐蚀反应溶液的反应速率一致，避免了腐蚀反应速率不一致产生滚轮印的缺陷，提高了多晶硅制绒生产的良率。

主权项

一种多晶硅制绒槽的滚轮，包括滚轮轴和用以支撑和传送多晶硅片的滚轮本体，其特征在于：所述滚轮本体为等直径圆柱形，其与所述滚轮轴同轴固定连接，所述滚轮本体的轴向宽度大于或等于所述多晶硅片的边长。